真空泵是用以產生、改善和維持真空的裝置。
現代真空技術能獲得的氣體壓強為大氣壓至10-11Pa的真空。這是一個非常大的真空范圍,而且各個真空應用部門所涉及的工作壓強的范圍不盡相同,因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用,現今只能根據不同的工作壓強范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵來創(chuàng)造需要的真空環(huán)境。為了使用方便以及經濟性的要求,有時將各種真空泵按其性能要求結合起來,以真空機組形式出現。
按工作原理,真空泵基本上分為氣體傳輸泵及氣體捕集泵兩種類:
常用的氣體傳輸泵有:
往復真空泵、無油渦旋真空泵、旋片真空泵、定片真空泵、滑閥真空泵、液(水)環(huán)真空泵、羅茨真空泵、分子泵、噴射泵、擴散泵、油增壓泵等。
常用的氣體捕集泵有:
吸附泵、離子泵、低溫泵、吸氣劑泵等。